"Plasma enhanced CVD equipment, as follows:" auf Deutsch
| Plasma enhanced CVD equipment, as follows: | Ausrüstung für plasmaunterstützte chemische Abscheidung (PECVD) wie folgt: |
Cat 1 - 1
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Cat 1 - 2 y Cat 1 - 3
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| Plasma enhanced CVD equipment, as follows: | Ausrüstung für plasmaunterstützte chemische Abscheidung (PECVD) wie folgt: |
| Cat 1 - 1
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